Moyen machine de nettoyage de plasma est principalement utilisé dans les LCD, connecteurs avant zones de production de masse, comme le collage. ????? Caractéristiques: Tous les composants de base et importés pour assurer la stabilité et la longévité de la machine. ????? Pompes à vide à palettes importés, est applicable à d'autres systèmes utilisant environnement de technologie de plasma peuvent travailler de longues heures, et anti-oxydation, la corrosion, et beaucoup ont accumulé une riche expérience, grandement amélioré la vie de la pompe, et améliorer les mesures de protection réduisent efficacement les co?ts d'entretien de la pompe, pompe, améliorées de travail maximale de longues heures, pomper le pétrole à haute température, la pompe à huile anti-oxydation a une température élevée et se soulager du système de refroidissement, pas de refroidissement de l'eau. Corps de pompe est placé à l'intérieur de l'armoire, la machine est compacte, faible encombrement. ????? Contr?le: système de contr?le automatique adopte le PLC et son écran tactile de tous les paramètres de processus, le processus de suivi en temps réel et l'état de fonctionnement de l'affichage, l'enregistrement d'alarme et la courbe de la technologie d'enregistrement, travaillant fiches de temps pour l'entretien, peut fournir des informations de processus. ??????? ◎ peut stocker 50 groupes de formule, les appels aléatoires. ????? ◎ temps de nettoyage, la pression propre, puissance RF, débit de gaz de procédé, mis réglable. ????? ◎ paramètres du procédé est protégé par mot de passe, requêtes hiérarchiques de gestion de mot de passe. ????? ◎ un bouton pour terminer le processus entièrement automatisés, alarme de défaut en temps réel, des conseils d'opération illégale, conseils de nettoyage et autre extrémité. ????? ◎ la maintenance du système de rappel automatique, le remplacement de l'huile de pompe à vide, pour éviter de surcharger la machine, le travail de cas sur le vieillissement et de prolonger la vie. Débitmètre ????? ◎ massique de gaz utilisé par les importations américaines en provenance de l'entrée et la sortie analogique, plage est de 0 ~ 200sccm peut être ajusté dans la gamme, en fonction des exigences spécifiques de processus du débitmètre massique disponibles PLC peut être obtenu du régulateur PID vide de contr?le. ????? ◎ selon les exigences particulières du processus peut être utilisé pompes sèches, équipement de traitement de gaz d'échappement, filtre à huile, filtre retour dispositifs d'huile. Structure d'électrode (breveté) plus élevé de flux d'ions peut être bien con?u pour améliorer l'uniformité et la stabilité du plasma.